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日本(日立):HPM1、HPM2、HPM7、HPM38、HPM50、HPM75、HPM77、CENA1、DAC、SKD4、SKD5、SKD7、SKD8、SKT4、SK3、SK4、SK5、SKS3、SKD11、YEM、YEM-K、DAC45、SKD61、SKD62、FDAC、DAC10、DAC55、SLD、SLD8、SLD10、ARK1、SGT、YXM1、YXM4、YXR3、YXR33、SKH-9、SKH-51、SKH-55、SKH-57、SKH-59、HAP10、HAP40、SUS420J2、HAP72、NP8、NP9、YSS、YHD28、YHD3。

瑞典(一勝百):K100、DF-2、XW-10、XW-5、XW-41、618、618H、718、718H、S136、S136H、8402、8407、8416、QRO-90、HSP-41、ASP23、ASP30、ASP60、VANADIS-4、VANADIS-10、HOTVAR、168S、635、ASSAB88、ELMAX、XW-42、V-4、S-7、EM2、VANCRON40、RAMAX2、POLMAX、UNIMAX、NIMAX、MM40、MMXL、ELMXX、DIEVA。

德國(guó)（撒斯特）p20、2311、2738、2316、2083、2767、4125、2344、2367、2379、2842、2363、2436、2510、3343、3207、TSP4、6582、7225、1293、1285、YE2311、YE2738、YE2083、YE2316、YE2344、1.8519、1.8550、1.3243、1.3247、1.2101、1.1545、1.2080、1.2312、1.2734、1.2840、1.2842、1.2885、1.2601、1.2606、1.2714、1.1210、1.7147、1.6523、1.6582、1.5919、1.57521.2779（x6nicrti26-15）。

奧地利(百綠)：M202、M238、M300、M310、M340、M330、W302、W303、W321、K100、K110、K340、K460、S390PM、S590PM、S690PM、S790PM、S500、S705、A903、W500、K105、K305、N100、N320、N540、N350、E200、E220、E230、E400、F300、F530、V320、V155、V800、V820。

美國(guó)(芬可樂(lè))：420、6061、7075、D2、D3、H11、H13、Ol、O2、M2、M4、L6、M35、M42、A2、6F7、T42、4340、4140。

【摘要】：模具型腔表面粗糙度不僅影響成型器件美觀,且對(duì)產(chǎn)品性能有很大影響。

隨著高端塑料模具鋼對(duì)表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)苛,當(dāng)前拋光技術(shù)局限性越來(lái)越大已難以滿足其要求。

探索一種新拋光技術(shù)使高端塑料模具鋼在獲得超光滑表面的同時(shí)獲得全局平坦化很迫切并具有重大現(xiàn)實(shí)意義。

化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)作為當(dāng)前能獲得全局平坦化技術(shù),在超大規(guī)模集成電路中廣泛應(yīng)用且拋光材料能獲得理想拋光性能。

本文以應(yīng)用***廣泛的高端塑料模具鋼S136鋼為例,來(lái)探討采用CMP技術(shù)使其獲得優(yōu)良拋光性能的工藝參數(shù)組合并分析其材料去除機(jī)制和化學(xué)拋光機(jī)理。

本文采用X射線衍射,掃描電子顯微鏡,原子力顯微鏡等檢測(cè)手段來(lái)表征拋‘光性能,以均方根粗糙度(RMS)和材料去除速率(MRR)評(píng)價(jià)拋光性能。

文中研究了影響CMP性能***重要的參數(shù),包括拋光液酸堿性、下壓力、拋光機(jī)轉(zhuǎn)速、磨料粒子種類。

***先以單因素變量法來(lái)確定上述參數(shù)的大致分布水平。

結(jié)果表明,壓力與轉(zhuǎn)速對(duì)S136鋼拋光性能的影響呈現(xiàn)相似規(guī)律湛江s136制模用品廠家,隨著壓力轉(zhuǎn)速的增大,MRR均增大湛江s136制模用品廠家,在參數(shù)值較小范圍內(nèi),MRR對(duì)壓力和轉(zhuǎn)速的關(guān)系都可用改進(jìn)的Preston方程來(lái)表達(dá)且由此方程預(yù)測(cè)的數(shù)值與實(shí)驗(yàn)測(cè)定值的誤差在2%以內(nèi),當(dāng)壓力轉(zhuǎn)速值進(jìn)一步增大時(shí),Preston方程失效；拋光液酸堿性對(duì)拋光性能有巨大影響,在酸性拋光液體系中,S136鋼能獲得更好的拋光性能；針對(duì)不同的磨料種類,***大的MRR和***小的RMS不能在同一個(gè)磨料中獲得,經(jīng)過(guò)綜合考慮,選取Si02作為***佳磨粒。

確定了各參數(shù)的大致分布水平后,采用正交實(shí)驗(yàn)法提出***佳拋光工藝參數(shù),并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。

分別以MRR和RMS為評(píng)價(jià)指標(biāo),通過(guò)XRD分析、SEM分析、AFM分析進(jìn)行結(jié)果驗(yàn)證。

結(jié)果表明,原始S136鋼RMS值為68.31nm,經(jīng)***佳工藝參數(shù)拋光后,其RMS值為2.87nm.MRR值為173.26nm/min,與其他參數(shù)組合相比較,***佳工藝參數(shù)在獲得***小表面粗糙度同時(shí)獲得了***大的材料去除速率,這證實(shí)了以上正交實(shí)驗(yàn)結(jié)果所得出數(shù)據(jù)的有效性和可靠性。

由指標(biāo)關(guān)系圖分析了各因素對(duì)拋光性能的影響程度大小。

***后,本文詳細(xì)探討S136鋼CMP過(guò)程材料的去除機(jī)制和化學(xué)拋光機(jī)理,并對(duì)拋光缺陷的形成原因進(jìn)行分析。

對(duì)于S136鋼的CMP過(guò)程,***為關(guān)鍵和核心的是使化學(xué)作用和機(jī)械作用之間取得平衡,所有參數(shù)變化和組合的本質(zhì)是影響機(jī)械作用和化學(xué)作用的匹配平衡程度。

由于模具冷卻水水道不受腐蝕的影響（不象普通模具鋼），熱傳導(dǎo)特性、冷卻效率在模具生命期中均保持穩(wěn)定，確保了模具恒久不變的成形時(shí)間。

上述的好處結(jié)合S136的高耐磨性，提供低維修費(fèi)和高壽命的模具，達(dá)到***佳的經(jīng)濟(jì)效益。

同時(shí)S136經(jīng)過(guò)電渣重熔法ESR工藝精練，具備純凈而細(xì)微的組織。

S136被推薦用于所有的模具，由于其特殊的性質(zhì)，更適合特殊環(huán)境的需求。

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