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本文導(dǎo)讀目錄：

1、s136是h什么材料

2、模具鋼s136是進(jìn)口鋼嗎

3、有一勝百的s136嗎

4、s136什么材料

【摘要】：模具型腔表面粗糙度不僅影響成型器件美觀,且對(duì)產(chǎn)品性能有很大影響。

隨著高端塑料模具鋼對(duì)表面質(zhì)量要求越來(lái)越嚴(yán)苛,當(dāng)前拋光技術(shù)局限性越來(lái)越大已難以滿足其要求。

探索一種新拋光技術(shù)使高端塑料模具鋼在獲得超光滑表面的同時(shí)獲得全局平坦化很迫切并具有重大現(xiàn)實(shí)意義。

化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)作為當(dāng)前能獲得全局平坦化技術(shù),在超大規(guī)模集成電路中廣泛應(yīng)用且拋光材料能獲得理想拋光性能。

本文以應(yīng)用***廣泛的高端塑料模具鋼S136鋼為例,來(lái)探討采用CMP技術(shù)使其獲得優(yōu)良拋光性能的工藝參數(shù)組合并分析其材料去除機(jī)制和化學(xué)拋光機(jī)理。

本文采用X射線衍射,掃描電子顯微鏡,原子力顯微鏡等檢測(cè)手段來(lái)表征拋‘光性能,以均方根粗糙度(RMS)和材料去除速率(MRR)評(píng)價(jià)拋光性能。

文中研究了影響CMP性能***重要的參數(shù),包括拋光液酸堿性、下壓力、拋光機(jī)轉(zhuǎn)速、磨料粒子種類。

***先以單因素變量法來(lái)確定上述參數(shù)的大致分布水平。

結(jié)果表明,壓力與轉(zhuǎn)速對(duì)S136鋼拋光性能的影響呈現(xiàn)相似規(guī)律,隨著壓力轉(zhuǎn)速的增大,MRR均增大,在參數(shù)值較小范圍內(nèi),MRR對(duì)壓力和轉(zhuǎn)速的關(guān)系都可用改進(jìn)的Preston方程來(lái)表達(dá)且由此方程預(yù)測(cè)的數(shù)值與實(shí)驗(yàn)測(cè)定值的誤差在2%以內(nèi)s136是h什么材料 ,當(dāng)壓力轉(zhuǎn)速值進(jìn)一步增大時(shí),Preston方程失效；拋光液酸堿性對(duì)拋光性能有巨大影響,在酸性拋光液體系中,S136鋼能獲得更好的拋光性能；針對(duì)不同的磨料種類,***大的MRR和***小的RMS不能在同一個(gè)磨料中獲得,經(jīng)過綜合考慮,選取Si02作為***佳磨粒。

確定了各參數(shù)的大致分布水平后,采用正交實(shí)驗(yàn)法提出***佳拋光工藝參數(shù),并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。

分別以MRR和RMS為評(píng)價(jià)指標(biāo),通過XRD分析、SEM分析、AFM分析進(jìn)行結(jié)果驗(yàn)證。

結(jié)果表明,原始S136鋼RMS值為68.31nm,經(jīng)***佳工藝參數(shù)拋光后,其RMS值為2.87nm.MRR值為173.26nm/min,與其他參數(shù)組合相比較,***佳工藝參數(shù)在獲得***小表面粗糙度同時(shí)獲得了***大的材料去除速率,這證實(shí)了以上正交實(shí)驗(yàn)結(jié)果所得出數(shù)據(jù)的有效性和可靠性。

由指標(biāo)關(guān)系圖分析了各因素對(duì)拋光性能的影響程度大小。

***后,本文詳細(xì)探討S136鋼CMP過程材料的去除機(jī)制和化學(xué)拋光機(jī)理,并對(duì)拋光缺陷的形成原因進(jìn)行分析。

對(duì)于S136鋼的CMP過程,***為關(guān)鍵和核心的是使化學(xué)作用和機(jī)械作用之間取得平衡,所有參數(shù)變化和組合的本質(zhì)是影響機(jī)械作用和化學(xué)作用的匹配平衡程度。

S136模具型腔和型芯的加工尺寸除了通過DM(1+S)公式計(jì)算基本尺寸之外，還有一個(gè)加工公差的問題。

按照慣例，模具的加工公差為塑件公差的1/3。

***先必須合理化確定不同塑料所成形塑件的尺寸公差。

即由收縮率范圍較大或收縮率穩(wěn)定較差塑料成形塑件的尺寸公差應(yīng)取得大一些。

為此，各國(guó)對(duì)塑料件的尺寸公差專門制訂了國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

德國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中專門制訂了塑件尺寸公差的DIN16901標(biāo)準(zhǔn)及相應(yīng)的模具型腔尺寸公差的DIN16749標(biāo)準(zhǔn)。

此標(biāo)準(zhǔn)在世界上具有較大的影響模具鋼s136是進(jìn)口鋼嗎，因而可供塑料模具行業(yè)參考。

關(guān)于S136塑件的尺寸公差和允許偏差為了合理地確定不同收縮特性材料所成形塑件的尺寸公差，讓標(biāo)準(zhǔn)引入了成形收縮差△VS這一概念。

德國(guó)(撒斯特):P20、2311、2738、2316、2083、2767、4125、2344、2367、2379、2842、2363、2436、2510、3343、3207、TSP4、6582、7225、1293、1285、YE2311、YE2738、YE2083、YE2316、YE2344。

奧地利(百綠):M202、M238、M300、M310、M340、M330、W302、W303、W321、K100、K110、K340、K460、S390PM、S590PM、S690PM、S790PM、S500、S705。

美國(guó)(芬可樂)：420、6061、7075、D2、D3、H11、H13、Ol、O2、M2、M4、L6、M35、M42、A2、6F7、T42、4340、4140。

國(guó)產(chǎn)鋼：A3、20、40、45、50、55、Crl2、Crl2MOV、S200C、S50C、9CrSi、H13、3Cr2W8V、W18Cr4V、T8A、T10A、40Cr、35CrMO、40CrMO、6542、65Mn、60Si2CrA、50CrVA、GCr15、9Cr18。

鎢鋼：YT15YT14YT5YW1YW10YW4YW2YG3YG6XYG6AYG6YG7YG8YG9YG11CYG15YG20P10P20P30M10M20K10K20K30K40CD650CD636CD750。

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